2024年3月28日消息，据国家知识产权局公告，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“反应炉及具有该反应炉的镀膜设备“，授权公告号CN220665446U，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种反应炉及具有该反应炉的镀膜设备，反应炉，包括：炉单元，包括炉体、以及设置于炉体的端部的端盖，端盖设有装配孔；管单元，包括管件、SiC护套以及绝缘密封组件，管件穿设于炉体的内部、并穿设于装配孔且从炉体的内部伸出，SiC护套套设于管件外，且SiC护套穿设于炉体的内部、并穿设于装配孔且从炉体的内部伸出，SiC护套与炉单元相间隔，绝缘密封组件套接在SiC护套外、并位于炉体的外部，且绝缘密封组件与端盖连接、并密封装配孔。SiC护套的材质为SiC，在常温下，SiC的热导率约为120W/(m·K)，导热更容易，更快；并且，SiC材质硬度强，承受能力强，在高温冷却的情况下，不易发生形变，不易碎，使用时间长，可靠性高。
